PLATEFORME MICRO ROBOTEX

Dans le cadre du programme d’investissement d’avenir, l’Institut FEMTO-ST s’est doté d’une plateforme pour le développement de projets sur la manipulation et l’assemblage automatisé de micro et nano-composants dont les dimensions...

Dans le cadre du programme d’investissement d’avenir, l’Institut FEMTO-ST s’est doté d’une plateforme pour le développement de projets sur la manipulation et l’assemblage automatisé de micro et nano-composants dont les dimensions peuvent être inférieures à 10 µm. De niveau international, cette acquisition contribue à la mise en œuvre effective de l’Équipement d’Excellence ROBOTEX. Sur Besançon-TEMIS, il est constitué d’un Microscope Électronique à Balayage (MEB) et d’un Focused Ion Beam (FIB). L’installation intègre une chambre cylindrique aux dimensions hors normes (500 mm de diamètre x 300 mm de haut).

Installée dans les locaux de l’ENSMM, cette plateforme qui fait partie du réseau d’excellence en robotique du CNRS, est ouverte aux partenaires de FEMTO-ST ainsi qu’aux industriels qui souhaitent mener des travaux de recherche et développement de micro et nanosystèmes.

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