Soitec Besançon, pionnière dans la fabrication de filtres à ondes de surface

13/11/2025

On ignore souvent leur nom, leur procédé de fabrication, mais les wafers POI (Piezo-On-Insulator) sont devenus indispensables à notre quotidien puisqu’on les retrouve dans nos téléphones portables et de façon générale dans nos systèmes électroniques communicants. Ils constituent le support de différents composants dont les filtres RF acoustiques sur matériaux piézoélectriques, qui sont les arbitres des différents signaux de communication. Ils vont, par exemple, séparer les bandes de fréquence utilisées par les téléphones, réduire les interférences entre signaux, et améliorer la sélectivité et la qualité de réception.

Sylvain Ballandras, anciennement chercheur au CNRS, en a fait sa spécialité dès 1991, avec ses premiers travaux sur les composants acousto-électriques pour le filtrage, les sources de fréquences et les capteurs. Après plus de 20 ans de recherche dans le monde académique dont 10 à la tête d’un laboratoire, il décide en mars 2013 de créer la société Frec’n’Sys à la suite de l’arrêt de la société Temex avec laquelle il collaborait depuis de très nombreuses années. « Cette entreprise, basée à Sophia Antipolis, avait une activité de production de filtres à ondes de surface. Son arrêt en 2007 a laissé un vide. Nous nous sommes mobilisés avec l’Université de Franche-Comté (actuelle Université Marie et Louis Pasteur) pour reprendre les équipements stratégiques et ne pas laisser partir tout un pan de compétences dans les composants de surface qui avait été développé dans les années 70 par les laboratoires bisontins. Nous sommes les héritiers de ce savoir-faire dans le développement d’outils et de conception de filtres encapsulés. »

Une expertise clé hébergée à TEMIS Innovation

Le site de Soitec à Besançon (ex Frec’n’Sys) se positionne sur les applications destinées aux marchés de la défense et du spatial avec une production de plusieurs centaines de milliers de filtres par an. « Depuis la création, nous avons toujours les mêmes clients. Nous sommes sur des temps techniques et commerciaux longs liés aux validations. Notre technologie a passé les différents jalons de développement de TRL (Technology Readiness Level). Nos prototypes sont testés depuis 2024. Nous sommes bientôt au terme de ce processus », note Sylvain Ballandras, qui a cédé sa société en 2018 au groupe Soitec, leader mondial de la production de matériaux innovants à forte valeur ajoutée.

L’entité bisontine est aujourd’hui rattaché à la Business Unit des filtres de la Division Communication Mobile. « Notre entité est la seule à avoir une connaissance aussi pointue dans la conception et la modélisation des effets d’excitation sur les matériaux POI. Nous apportons une expertise clé sur la propagation des ondes élastiques dans les composites à base de silicium et nous contribuons ainsi au développement des nouveaux produits de Soitec. En Europe, notre société est une des rares à maîtriser toute la chaîne de valeur, du substrat POI fourni par le groupe jusqu’à l’intégration de filtres à ondes de surface, en passant par le développement de nos propres outils de simulation. Notre valeur ajoutée repose sur une combinaison qui intègre la maîtrise de nombreuses technologies, des équipements de pointe et un personnel qualifié. C’est un atout pour notre ville. »

L’équipe de Soitec-Besançon – qui compte 14 salariés – occupe, depuis sa création, les locaux de la Maison des Microtechniques, au cœur de TEMIS Technopole. Elle espère démarrer la production en série de ses filtres à partir de 2026.

Contact : soitec.com

Focus sur la salle blanche de TEMIS Innovation – Témoignage de Sylvain Ballandras

« L’environnement de TEMIS a été primordial. Nous travaillons sur des produits de rupture, nous devons nous inscrire dans un temps long. Les infrastructures proposées au sein de TEMIS Innovation nous ont permis de grandir. Nous louons actuellement plus de 250 m² de locaux. Nous avons une convention d’exploitation avec l’Université pour l’utilisation de la salle blanche classe 100 et d’une salle grise. Tous les équipements appartiennent à l’Université. L’infrastructure est la propriété de Grand Besançon Métropole. Depuis le rachat de Frec’n’sys par Soitec, le groupe modernise cet outil de production et a réinvesti par exemple dans une ligne de production. Pour concevoir et fabriquer nos filtres à ondes de surface, nous avons besoin de nombreux matériels de haute technologie très coûteux, comme un stepper pour la photolithographie et des appareils de mesure à balayage. Sans ce partenariat public-privé, nous n’aurions jamais pu nous développer. »

Dans le reste de la salle blanche, FEMTO-ST opère la plateforme technologique MIMENTO qui fait partie du réseau Renatech, réseau académique français des équipements de pointe dans le domaine des micro et nanotechnologies, piloté par le CNRS.